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FB-1500渦輪分子泵

名 稱: FB-1500渦輪分子泵
發明單位: 中國科學院北京科學儀器研制中心
摘 要: 成果摘要:

FB-1500渦輪分子泵,是為獲得清潔的大容積超高真空環境開發開發的,它的研制成功為科儀中心的渦輪分子泵產品形成系列,為更大容積真空系統獲得清潔超高真空環境提供手段. 主要創新點:1.改變了過去分子泵靠仿制設計的開法途徑,在理論設計以統計學為基礎,建立了計算機軟件程序,把復雜的組合葉片設計參數進行優化計算,選取最佳結構,以最少的級數,最合理的角度組合,獲得最佳設計指標.2.要實現設計要求,葉片加工比須采用光學密封式的銑制方式,因此要解決加工過程中工藝的合理安排,特殊刀具的制備,以及合理安排熱處理工序.3.解決大渦輪轉子的精密動平衡. 該泵的主要技術指標:Plim

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